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开云体育本实用新式提供了一种补液安装以及电镀铜拓荒-开云(中国)kaiyun网页版登录入口
时间:2026-02-21 09:46 点击:127 次

金融界2024年12月31日讯息,国度常识产权局信息表示,上海积塔半导体有限公司赢得一项名为“补液安装以及电镀铜拓荒”的专利,授权公告号 CN 222226634 U,肯求日历为 2024 年 2 月。
专利节录表示,本实用新式提供了一种补液安装以及电镀铜拓荒,所述补液安装包括轮番聚集的补液罐、存液检测单位以及取液罐;所述存液检测单位内竖立有第一浓度传感器和浮球,所述浮球上浮时将所述存液检测单位与所述取液罐的管路堵住;所述取液罐内竖立有第二浓度传感器。本实用新式的补液安装不错通过存液检测单位和取液罐的溶液浓度判断添加如补液罐的添加剂是否正确,幸免伪善的添加剂参加与电镀液罐相联通的取液罐,从而晋升电镀铜拓荒镀铜的质地,晋升加工后晶圆的良率,裁汰半导体器件的资本。
本文源自:金融界
作家:谍报员/阅读下一篇/复返网易首页下载网易新闻客户端开云体育

